ก๊าซที่เกิดจากการจับตัวกันของออกซิเจน 3 อะตอม สามารถผลิตโดยป้อนพลังงานจากภายนอกเข้าไปกระตุ้นให้ก๊าซออกซิเจน (Oxygen gas : O₂(g)) แตกพันธะออกเป็นอะตอมอิสระของออกซิเจน (O) แล้วจึงรวมกันกับ O₂ กลายเป็น O₃ ซึ่งมีคุณสมบัติในการฆ่าเชื้อ โดยเฉพาะเชื้อไวรัส ซึ่งคลอรีนไม่สามารถทำลายได้ ซึ่งคุณสมบัติของก๊าซโอโซนมีค่าศักย์ออกซิเดชันสูงถึง 2.07 Volts (สำหรับ คลอรีน 1.36 Volts) ก๊าซโอโซนมีการทำปฏิกิริยาที่รุนแรงกว่าคลอรีน ประมาณ 3,125 เท่า แต่มีช่วงเวลาสิ้นสุดการทำปฏิกิริยาสั้นกว่าเนื่องจากก๊าซโอโซนสามารถสลายตัวง่าย